測(cè)試方法:
1)進(jìn)行潔凈度測(cè)試時(shí),吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度(對(duì)于≥0.5μm的粒子)不得小于35000粒/L,當(dāng)吸風(fēng)口處不能滿(mǎn)足上述指標(biāo)時(shí),宜在潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。
2)當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下,在距主過(guò)濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處(垂直層流潔凈工作臺(tái)距操作臺(tái)面250 mm的中心處)連續(xù)測(cè)試5次,求其平均值。
3)操作區(qū)氣溶膠濃度測(cè)試盡量采用大流量(47.2X10-5m3/s(28.3 L /min))塵埃粒子計(jì)數(shù)器,也可采用小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器,但采樣量不得小于1L。
4)潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度測(cè)試,需要在測(cè)試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)氣溶膠濃度的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行,要測(cè)5次以上。
5)當(dāng)測(cè)試時(shí)有≥5μm粒子出現(xiàn)時(shí),應(yīng)進(jìn)行多次采樣,當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí),才認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的。
可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計(jì)算:
C=C2/C1×C0
式中:C— 操作區(qū)對(duì)比氣溶膠濃度(≥5μm),(粒/L);
C1 — 潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處≥5μm的氣溶膠濃度平均值,粒/L;
C2 — 潔凈工作臺(tái)操作區(qū)≥5μm的氣溶膠濃度平均值,粒/L;
C0— 可比工作環(huán)境中的≥5μm的氣溶膠濃度,取值為350 00粒/L。
使用條件下操作區(qū)的潔凈度
潔凈工作臺(tái)在使用條件下,不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少,要按有關(guān)規(guī)定進(jìn)行測(cè)試,并按操作區(qū)氣溶膠的實(shí)測(cè)濃度來(lái)評(píng)價(jià)操作區(qū)的潔凈度。
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